觀視窗是完工腔體上最容易漏的接合處，因為它是玻璃對金屬的密封，坐在一個必須平整、與法蘭同心、且不能有讓氣體有路可走的刀痕的加工座上。
兩種結構路線
黏結式觀視窗使用環氧樹脂或玻璃對金屬封接，結構簡單但耐溫受限。刀口式觀視窗以銅墊圈壓在拋光玻璃面上，原理與 ConFlat 接合相同，可烘烤到 UHV 溫度。該選哪一種，取決於觀視窗是否需要承受烘烤。
必須精準加工的地方
玻璃座面的平面度、與法蘭孔徑的同心度、座面的表面粗糙度，以及法蘭螺栓孔位。座面平但不與法蘭同心，會在鎖緊時單側加載玻璃而使其破裂。座面若有環狀刀痕，就等於給氣體一條橫越密封帶的路。
光學級玻璃
標準觀視窗使用硼矽玻璃，可透可見光並能承受熱循環。需要紫外光穿透時指定熔融石英，視窗必須耐磨或需穿透紅外線時則用藍寶石。三者熱膨脹係數各異，座面幾何應該跟著玻璃走，而不是套用單一標準。
尺寸與配置
觀視窗尺寸通常依所需視場決定，而不是依法蘭尺寸決定；大型腔體上的位置必須在筒身銲接前就定好，因為事後要加接管就得重新加工整個腔體。這也是我們自己做觀視窗本體、而不是外購的原因之一。
廠內自製能力
- 304 / 316L stainless steel and 6061 / 5083 aluminium fabrication
- Clean-environment TIG welding with full penetration and no micro-porosity
- Helium mass-spectrometer leak testing to 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s
- In-house electropolishing and passivation — not subcontracted
- Chamber bake-out to 150–400 °C for UHV outgassing control
- Precision-machined ISO-KF, ISO-K and CF (ConFlat) flanges
- Zeiss CMM verification to ±0.02 mm across large work envelopes
- 12 m gantry CNC machining — 12 m × 4 m × 2 m envelope
- SEMI-referenced documentation and inspection protocols
常見問題
什麼是真空觀視窗？
真空觀視窗是一種附法蘭的視窗，讓你在維持真空的同時看見腔內或把光打進去。它是一片玻璃或晶體圓盤，坐落在加工過的法蘭本體上，以環氧樹脂黏結或以銅墊圈壓在刀口上密封。
觀視窗可以烘烤嗎？
只有刀口式、全金屬結構的觀視窗能烘烤到 UHV 溫度。黏結式觀視窗受環氧樹脂限制，通常遠低於 200 °C。腔體若要烘烤，觀視窗就必須從一開始就照這個條件指定。
玻璃該怎麼選？
一般可見光觀察用硼矽玻璃；紫外光穿透或抗熱衝擊是重點時用熔融石英；需要紅外線穿透或耐磨時用藍寶石。座面幾何應與玻璃種類搭配。
觀視窗為什麼會漏？
幾乎都是座面的問題，而不是玻璃 — 座面不平面、不同心，或帶有環狀刀痕。所以我們把玻璃座與法蘭孔徑安排在同一次裝夾中加工。
你們能做非標準尺寸的觀視窗嗎？
可以。我們加工標準 CF 與 KF 尺寸的觀視窗本體，也能做客製幾何，包括腔體配置需要的斜角與偏心接管。
相關能力
需要依規格訂製嗎？
把圖面或規格書寄給我們，我們會回覆 DDP 價格、交期與檢驗計畫。