在大氣中做熱處理，會把你剛花時間電解拋光的表面氧化掉。把同一道工序放到真空下做，表面維持光亮，事後也沒有東西要清，這就是真空零組件走這條路線的原因。
三種都被叫做真空熱處理的不同工作
第一種是傳統冶金熱處理 — 退火、消除應力、硬化 — 在真空下進行以避免氧化與脫碳。第二種是真空硬焊，爐子本身就是接合工具。第三種是烘烤除氣：把組裝完成的腔體在真空下加熱到 150–400 °C，在封裝前驅離吸附的水氣與氫。三者的溫度與氣氛需求都不同，循環條件不應混用。
烘烤除氣：讓 UHV 成為可能的那一步
電解拋光之後，腔體內的主要殘餘氣體是水。水在常溫下脫附緩慢，但超過 150 °C 就快得多；氫則大約在 250 °C 以上開始離開鋼材。在 250–400 °C 下控制烘烤並持續抽氣，可去除大部分殘氣。只做到氣密卻從未烘烤的腔體，會永遠停在高真空。
我們提供的製程
不鏽鋼件的退火與消除應力、真空硬焊循環，以及 UHV 用途的腔體烘烤除氣。熱電偶貼在工件上，而不是只放在爐內，因此記錄到的曲線反映的是工件本身，而不是爐內氣氛。
對整條製程鏈的影響
烘烤除氣排在電解拋光之後、最終封裝之前，因為加熱已拋光的表面不會傷到表面品質，加熱受汙染的表面卻會把汙染烤進去。需要消除應力時，則排在精加工之前，讓工件在最後一刀之後不再位移。
廠內自製能力
- 304 / 316L stainless steel and 6061 / 5083 aluminium fabrication
- Clean-environment TIG welding with full penetration and no micro-porosity
- Helium mass-spectrometer leak testing to 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s
- In-house electropolishing and passivation — not subcontracted
- Chamber bake-out to 150–400 °C for UHV outgassing control
- Precision-machined ISO-KF, ISO-K and CF (ConFlat) flanges
- Zeiss CMM verification to ±0.02 mm across large work envelopes
- 12 m gantry CNC machining — 12 m × 4 m × 2 m envelope
- SEMI-referenced documentation and inspection protocols
常見問題
UHV 腔體該用幾度烘烤？
使用彈性體密封的腔體通常 250 °C，全金屬密封腔體則為 350–400 °C。上限取決於密封件與硬銲或銲接填料，而不是鋼材本身。
烘烤除氣要多久？
持溫通常為 12–24 小時，之後在真空下控制降溫。降溫趕太快會讓水氣重新吸附，把大部分效果抵銷掉。
真空熱處理會改變表面狀態嗎？
在真空下表面會保持光亮，因為沒有氧化物可以生成。它不會把原本沒有的拋光變出來，但也不會讓已電解拋光的表面變差。
鋁合金可以在真空下熱處理嗎？
鋁合金通常在大氣或惰性氣氛中熱處理，而不是真空，因為生成的氧化層對多數應用是保護性的而非有害，用真空只是增加成本而沒有好處。
腔體測漏已經過了，還需要烘烤嗎？
需要。氣密性與放氣是兩件獨立的事。腔體可以完全不漏，卻因為內部表面脫附水氣而無法達到 UHV。
相關能力
需要依規格訂製嗎？
把圖面或規格書寄給我們，我們會回覆 DDP 價格、交期與檢驗計畫。