KF 與 ISO 系列是真空工程的快速拆裝側。它們用烘烤溫度換取拆裝速度，這對前級管路與維修接管是正確的交換，對製程腔則是錯的。
三個系列與各自的使用時機
KF（也寫作 NW 或 QF）是小型快速拆裝系列，KF10 到 KF50，以中心環與 O 型環密封、爪式夾具鎖緊 — 用於粗抽管路、錶頭接管與小型維修接頭。ISO-K 是較大的夾環系列，ISO-F 則是相同標稱孔徑的螺栓版本，兩者都從約 ISO 63 起跳，用於較大的 HV 接管與泵浦入口。超過一定尺寸後兩者共用密封尺寸，因此同標稱孔徑的 ISO-K 與 ISO-F 可配用同一只 O 型環。
加工件上必須做對的地方
O 型環溝槽的深度與寬度、密封面平面度，以及中心環或爪式夾具的幾何。稍不平面的 KF 法蘭會把中心環拉向一側並夾擠 O 型環，產生一個每次拆裝就復發的漏點。ISO 尺寸的螺栓圓與夾具凹槽則必須與孔徑同心，否則法蘭無法均勻貼合。
材料
多數場合用 304 與 316L 不鏽鋼，重量是考量時改用鋁合金。會反覆拆裝的接合處偏好不鏽鋼，因為鋁製密封面在幾次組裝循環後就會咬傷並失去平面度。
KF/ISO 到哪裡為止，CF 從哪裡開始
極限在 O 型環。Viton 大約可用到 150 °C 與 10⁻⁸ mbar 左右；再上去就會滲透與放氣。一旦接合處必須烘烤或維持 UHV，法蘭系列就必須改成 ConFlat，而腔體上的接管必須從設計一開始就為它規劃。
法蘭系列選用
| 系列 | 標稱尺寸 | 密封方式 | 烘烤上限 | 最適用於 |
|---|---|---|---|---|
| KF / NW / QF | KF10 至 KF50 | 中心環＋O 型環，爪式夾具 | 約 150 °C | 粗抽管路、錶頭接管、經常拆裝 |
| ISO-K | ISO 63 至 ISO 630 | O 型環＋夾環 | 約 150–200 °C | 較大 HV 接管、泵浦入口 |
| ISO-F | ISO 63 至 ISO 630 | O 型環＋螺栓 | 約 150–200 °C | 與 ISO-K 相同，但震動場合不宜用夾環 |
| CF (ConFlat) | CF16 至 CF250 以上 | 銅墊圈＋刀口 | 最高 450 °C | UHV、可烘烤接合、半導體製程 |
廠內自製能力
- 304 / 316L stainless steel and 6061 / 5083 aluminium fabrication
- Clean-environment TIG welding with full penetration and no micro-porosity
- Helium mass-spectrometer leak testing to 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s
- In-house electropolishing and passivation — not subcontracted
- Chamber bake-out to 150–400 °C for UHV outgassing control
- Precision-machined ISO-KF, ISO-K and CF (ConFlat) flanges
- Zeiss CMM verification to ±0.02 mm across large work envelopes
- 12 m gantry CNC machining — 12 m × 4 m × 2 m envelope
- SEMI-referenced documentation and inspection protocols
常見問題
KF 是什麼的縮寫？
KF 源自德文 Kleinflansch，意為小型法蘭。你也會看到寫成 NW（Nennweite，標稱寬度）與 QF（quick flange）— 三者指的是同一個夾環加 O 型環的系列。
ISO-K 和 ISO-F 有什麼不同？
相同標稱孔徑下，兩者共用相同的密封尺寸與同一只 O 型環。ISO-K 用外側夾環鎖緊；ISO-F 則以螺栓圓鎖固。震動或熱循環會讓夾環鬆脫的場合就選 ISO-F。
KF 法蘭可以用在 UHV 嗎？
不能用在系統的 UHV 段。彈性體 O 型環既會滲透也會放氣，而且不能烘烤。KF 用在 UHV 系統的粗抽側沒問題，但高真空側的每個接合處都應該是 ConFlat。
KF 法蘭能耐幾度？
搭配 Viton O 型環約 150 °C，丁腈橡膠（NBR）更低。再上去 O 型環會劣化，放氣速率也急遽上升。
你們只加工法蘭，還是也供料？
我們依標準尺寸與客戶圖面加工真空法蘭，標準尺寸與客製幾何皆可。我們也製造搭載這些法蘭的腔體，因此接管與法蘭是一次加工成形，而不是事後配裝。
相關能力
需要依規格訂製嗎？
把圖面或規格書寄給我們，我們會回覆 DDP 價格、交期與檢驗計畫。