半導體與真空製造

客製真空腔體製造

照圖施工與依規格製造的真空腔體,從小型儀器筒到 12 m 銲接件。

客製腔體是製程需求、材料在銲接下的行為,以及事後真的加工得出來這三件事之間的折衷。這三者越早協調,腔體就越便宜,所以我們希望在圖面階段就參與,而不是等到報價階段。

客製腔體專案怎麼進行

我們從客戶圖面或性能規格書開始。如果是規格書,第一步是確認材料、密封系列與表面處理,因為這三個決定對可達真空度與成本的影響,遠大於壁厚。確認之後的順序是銲接、消除應力、加工、電解拋光、測漏、烘烤、檢驗。

為什麼順序比任何單一步驟更重要

銲接會變形,所以密封面必須銲後加工。加工會留下冷卻液與切屑,所以表面必須加工後清洗與拋光。機械拋光會留下抹平層,所以後面要接電解拋光。電解拋光會在表面留下氫與水,所以要接烘烤。每一步的存在都是因為前一步,跳過任何一步只是把問題挪位置,而不是消除它。

尺寸與搬運

我們的龍門加工行程為 12 m × 4 m × 2 m,大型腔體可一次裝夾完成加工。這很重要,因為分兩次裝夾加工的腔體中間會換基準,基準兩側的法蘭位置就會對不上。

交機時你會拿到什麼

CMM 檢測的尺寸報告、載明方法與檢出限的氦氣測漏紀錄、表面粗糙度量測、材質證明與銲接程序文件。對半導體與研究單位客戶來說,這包文件屬於交付內容的一部分,不是選購項目。

什麼情況下客製腔體是錯的答案

如果需求是一般高真空作業用的標準小型腔體,標準品會更便宜也更快。客製製造的價值在於幾何、尺寸或真空等級超出標準品涵蓋範圍時 — 實務上就是大型腔體、特殊接管配置,或 UHV 與可烘烤結構。

廠內自製能力

常見問題

客製真空腔體大概多少錢?

幾乎完全取決於真空等級、尺寸與材料,而不是形狀。具備電解拋光、全金屬密封與完整測試報告的 UHV 腔體,價格會是同容積彈性體密封高真空腔體的數倍。我們是依明確定義的規格報價,而不是依容積。

你們最大能做多大的真空腔體?

我們的龍門加工行程為 12 m × 4 m × 2 m,這是單件腔體的實務上限。更大的容器可以分段製造,但接合處就會成為真空設計的一部分。

客製腔體要多久?

中小型腔體通常是幾週而不是幾個月。大型 UHV 銲接件更久,因為銲接、消除應力、加工、拋光、測漏與烘烤除氣這套順序無法壓縮,壓縮就會失去結果。

沒有圖面,只給性能規格可以嗎?

可以。只要提供所需真空度、內部容積、接管需求與使用溫度,我們就能建議材料、密封系列與表面處理,並據此報價。這三項越早確認,成本就越可預測。

你們接單件訂製的腔體嗎?

接。我們同時承接單件客製腔體與長期供貨合約下的批量生產。一個代表性的例子是某家日本半導體設備製造商,我們目前每年為其供應 50 個以上的腔體。

相關能力

不鏽鋼真空零組件電解拋光服務
不鏽鋼與鋁合金真空腔體的廠內電解拋光服務,可有效降低放氣以符合超高真空需求,拋光與鈍化都不外包,單一供應商與單一交期,每個出廠腔體都附上完整的檢測報告。
氦氣測漏與漏率檢測服務
真空腔體、銲接件與饋通的氦氣測漏服務,能找出極微小的漏點並逐腔出具檢測報告,內容完整載明檢測方法、檢出限與各測試點的實測漏率,並可供客戶稽核與驗收使用。
真空硬焊服務
不鏽鋼與鋁合金組件的真空硬焊服務,接合處完全免用助銲劑也無氧化物殘留,不需後清洗,更不會留下助銲劑夾雜在運轉中持續放氣,並以氦質譜測漏驗證接合的氣密性。
真空爐與真空熱處理
真空熱處理、真空硬焊與真空腔體烘烤除氣的廠內服務,可處理不鏽鋼與鋁合金真空零組件,並以貼在工件本身的熱電偶記錄實際的升溫與降溫曲線,而不是爐內的氣氛。
半導體真空腔體
半導體製程設備專用的真空腔體製造,涵蓋電漿蝕刻、化學氣相沉積與濺鍍等設備的製程腔與傳片腔,採不鏽鋼與鋁合金材料製作,並逐腔出具完整的測漏與尺寸檢測報告。
CF (ConFlat) 法蘭加工
超高真空等級的 CF 法蘭與刀口法蘭精密加工,以無氧銅墊圈搭配刀口密封,法蘭本體與腔體上的接管在同一次裝夾中一併成形,並可提供多種標準尺寸與客製幾何的訂製服務。
KF、ISO-K 與 ISO-F 真空法蘭加工
真空法蘭的精密加工與製造整合服務,涵蓋KF/ISO系列的不鏽鋼及鋁合金法蘭,密封面與法蘭孔徑皆在同一次裝夾中精密成形加工,並可依需求提供多種客製化的尺寸與規格。
真空觀視窗加工
廠內加工的真空觀視窗法蘭,提供 CF 與標準法蘭本體並搭配相互配合的玻璃座,玻璃座與法蘭孔徑在同一次裝夾中完成加工,確保同心度與平面度,並可避免運轉時發生洩漏。
真空饋通法蘭加工
真空饋通法蘭本體的加工服務,並可涵蓋電力、熱電偶、儀錶與多針腳等各式配置,法蘭本體與陶瓷座在同一次裝夾中確保同心,密封完成之後再以氦質譜測漏整組驗證氣密性。
UHV 真空腔體與零組件
超高真空腔體與零組件的製造服務,採不鏽鋼製作並經內表面電解拋光與烘烤除氣處理,可搭配 CF 法蘭、觀視窗、饋通與波紋管等全金屬密封件,所有接合處也都能承受烘烤。
真空腔體製造與銲接
真空腔體製造與銲接服務,採全滲透潔淨氬銲,銲道無微孔缺陷,並經氦氣測漏驗證,內表面於廠內完成電解拋光,材質涵蓋不鏽鋼與鋁合金,並可依需求提供各項檢測報告。
真空脫氣腔
電池芯脫氣、樹脂與材料脫氣用的不鏽鋼真空脫氣腔,內表面經電解拋光並配置法蘭接管,通過氦氣測漏驗證,內部幾何可完全排液,換產品時便於清潔整理,並可依批次決定容積。
熱真空與太空環境模擬腔體
熱真空與太空環境模擬腔體製造,採不鏽鋼容器並可依需求搭配熱罩、饋通與儀器接管,以氦質譜測漏驗證整體的真空完整性,容器本體與各項接管均可一併製造與加工。

需要依規格訂製嗎?

把圖面或規格書寄給我們,我們會回覆 DDP 價格、交期與檢驗計畫。

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