饋通的失效方式和盲板法蘭不同：它必須在同一道壁上同時維持真空並讓導體穿過。這使陶瓷對金屬封接與法蘭座面成為同一條漏徑，必須當成一個組件測試，而不是兩個零件。
饋通必須同時做到的事
它必須把電力、訊號或運動穿過真空邊界而不洩漏、不放氣到超出系統預算，也不能對腔體造成電性或熱性短路。這些要求彼此衝突：提供電性隔離的陶瓷既脆，膨脹係數又與法蘭不同，因此接合設計必須讓陶瓷處於壓縮而非拉伸狀態。
常見配置
加熱器與電極用的電力饋通；腔內溫度與壓力量測用的熱電偶與儀錶饋通；訊號束用的多針腳接頭；以及射頻或低電平訊號需要的同軸與遮蔽型。運動饋通 — 旋轉與直線 — 屬於另一個系列，通常整組採購，而不是由法蘭本體自行組裝。
我們加工什麼、測試什麼
法蘭本體、陶瓷座與導體孔在同一次裝夾中加工，確保組件同心，再以氦質譜儀對完成後的饋通整組測漏。把法蘭與陶瓷分開測試、再假設組合起來會緊，正是饋通進料檢驗通過、裝上腔體卻失效的原因。
法蘭尺寸怎麼選
法蘭必須大到足以承載導體數量與陶瓷直徑，而不只是導體本身。把超過陶瓷能負擔的針腳數硬塞進一個法蘭，通常是饋通在密封處而非針腳處漏氣的常見原因。
廠內自製能力
- 304 / 316L stainless steel and 6061 / 5083 aluminium fabrication
- Clean-environment TIG welding with full penetration and no micro-porosity
- Helium mass-spectrometer leak testing to 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s
- In-house electropolishing and passivation — not subcontracted
- Chamber bake-out to 150–400 °C for UHV outgassing control
- Precision-machined ISO-KF, ISO-K and CF (ConFlat) flanges
- Zeiss CMM verification to ±0.02 mm across large work envelopes
- 12 m gantry CNC machining — 12 m × 4 m × 2 m envelope
- SEMI-referenced documentation and inspection protocols
常見問題
什麼是真空饋通？
真空饋通是一種密封元件，讓導體、熱電偶、光纖或機械運動穿過真空腔體壁面而不破壞真空。
最常見的失效模式是什麼？
陶瓷對金屬封接處洩漏，通常是設計讓陶瓷處於拉伸狀態，或密封座加工時與法蘭孔徑不同心所致。對完成後的組件做氦質譜測漏，可以在它裝上腔體之前就攔下來。
饋通該選 CF 還是 KF？
若饋通要烘烤、或腔體必須達到 UHV，就選 CF，因為它是金屬密封。KF 可用於 HV 場合與需要經常更換饋通的位置，但 O 型環會限制烘烤溫度。
你們能加工客製饋通法蘭嗎？
可以。我們依標準 CF 與 KF 尺寸及客戶圖面加工法蘭本體，包括非標準導體數量與孔位配置。
陶瓷與針腳也是你們供應嗎？
我們加工法蘭本體與密封特徵，並依客戶規格組裝與測試完整組件。陶瓷次組件是外購或由客戶指定，取決於配置。
相關能力
需要依規格訂製嗎？
把圖面或規格書寄給我們，我們會回覆 DDP 價格、交期與檢驗計畫。