真空零組件不能用助銲劑硬焊。助銲劑留下的任何東西，都會在腔體往後整個壽命裡持續放氣。真空硬焊把整個程序放進真空爐進行，讓銲料表面的氧化層以熱裂解而非化學方式破除，問題就消失了。
為什麼要真空硬焊，而不是用助銲劑的火焰或爐式硬焊
助銲劑靠化學溶解氧化物，殘留物會留在工件上。在大氣爐硬焊中這種殘留通常可以接受；在真空系統裡它就是汙染源。真空硬焊利用爐內的低氧分壓讓銲料表面的氧化膜解離，因此不需助銲劑，接合面出爐就是乾淨的。
真空硬焊適合什麼
適合必須氣密、卻無法銲接的組件 — 薄件接厚件、厚度差異大的接合、火焰到不了的內部接合，以及逐道銲接會變形的多點接合。它產生的是連續的填角，而不是局部熱點，因此變形量比銲接低。
我們要求的接合品質
填角完全成形、無孔洞或未滲透，硬銲填料依使用溫度選用，確保後續烘烤時接合不會重熔，並以氦質譜測漏而非目視確認氣密性。
與烘烤除氣的交互影響
這一點最常被忽略。如果腔體要 250 °C 烘烤，硬銲填料的熔點就必須明顯高於這個溫度，否則接合會軟化。我們是依客戶的烘烤溫度選填料，不是只看常溫強度。
廠內自製能力
- 304 / 316L stainless steel and 6061 / 5083 aluminium fabrication
- Clean-environment TIG welding with full penetration and no micro-porosity
- Helium mass-spectrometer leak testing to 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s
- In-house electropolishing and passivation — not subcontracted
- Chamber bake-out to 150–400 °C for UHV outgassing control
- Precision-machined ISO-KF, ISO-K and CF (ConFlat) flanges
- Zeiss CMM verification to ±0.02 mm across large work envelopes
- 12 m gantry CNC machining — 12 m × 4 m × 2 m envelope
- SEMI-referenced documentation and inspection protocols
常見問題
真空硬焊比銲接好在哪裡？
硬焊接合是連續的，且作業溫度比銲接低，因此變形小得多，薄件也能接厚件而不致燒穿。它還能做到銲槍到不了的內部接合。
真空硬焊接合可以用在 UHV 環境嗎？
可以，前提是填料依烘烤溫度選用，且組件在事後完成真空級清洗。因為不使用助銲劑，就沒有助銲劑殘留會放氣。
你們用哪些硬銲填料？
填料依母材、使用溫度與所需接合強度選用。對不鏽鋼組件來說，決定性條件幾乎都是烘烤溫度，而不是常溫強度。
鋁合金也能做真空硬焊嗎？
鋁合金因表面氧化膜極為緻密，需要專用的真空硬焊循環與填料系統。技術上可行，但與不鏽鋼硬焊是不同的製程，接合設計準則也不一樣。
硬焊接合要怎麼驗證？
用氦氣測漏，而不是目視。接合外觀的填角可以很漂亮，內部卻仍有一條孔洞通道貫穿，因此驗收標準是漏率。
相關能力
不鏽鋼真空零組件電解拋光服務
不鏽鋼與鋁合金真空腔體的廠內電解拋光服務，可有效降低放氣以符合超高真空需求，拋光與鈍化都不外包，單一供應商與單一交期，每個出廠腔體都附上完整的檢測報告。
氦氣測漏與漏率檢測服務
真空腔體、銲接件與饋通的氦氣測漏服務，能找出極微小的漏點並逐腔出具檢測報告，內容完整載明檢測方法、檢出限與各測試點的實測漏率，並可供客戶稽核與驗收使用。
真空爐與真空熱處理
真空熱處理、真空硬焊與真空腔體烘烤除氣的廠內服務，可處理不鏽鋼與鋁合金真空零組件，並以貼在工件本身的熱電偶記錄實際的升溫與降溫曲線，而不是爐內的氣氛。
半導體真空腔體
半導體製程設備專用的真空腔體製造，涵蓋電漿蝕刻、化學氣相沉積與濺鍍等設備的製程腔與傳片腔，採不鏽鋼與鋁合金材料製作，並逐腔出具完整的測漏與尺寸檢測報告。
CF (ConFlat) 法蘭加工
超高真空等級的 CF 法蘭與刀口法蘭精密加工，以無氧銅墊圈搭配刀口密封，法蘭本體與腔體上的接管在同一次裝夾中一併成形，並可提供多種標準尺寸與客製幾何的訂製服務。
KF、ISO-K 與 ISO-F 真空法蘭加工
真空法蘭的精密加工與製造整合服務，涵蓋KF/ISO系列的不鏽鋼及鋁合金法蘭，密封面與法蘭孔徑皆在同一次裝夾中精密成形加工，並可依需求提供多種客製化的尺寸與規格。
真空觀視窗加工
廠內加工的真空觀視窗法蘭，提供 CF 與標準法蘭本體並搭配相互配合的玻璃座，玻璃座與法蘭孔徑在同一次裝夾中完成加工，確保同心度與平面度，並可避免運轉時發生洩漏。
真空饋通法蘭加工
真空饋通法蘭本體的加工服務，並可涵蓋電力、熱電偶、儀錶與多針腳等各式配置，法蘭本體與陶瓷座在同一次裝夾中確保同心，密封完成之後再以氦質譜測漏整組驗證氣密性。
UHV 真空腔體與零組件
超高真空腔體與零組件的製造服務，採不鏽鋼製作並經內表面電解拋光與烘烤除氣處理，可搭配 CF 法蘭、觀視窗、饋通與波紋管等全金屬密封件，所有接合處也都能承受烘烤。
客製真空腔體製造
客製真空腔體製造，可照圖施工或依性能規格設計，材質涵蓋不鏽鋼與鋁合金，並可製作大型銲接件，逐腔附上氦氣測漏紀錄與三次元量測的尺寸報告，並提供完整材質證明。
真空腔體製造與銲接
真空腔體製造與銲接服務，採全滲透潔淨氬銲，銲道無微孔缺陷，並經氦氣測漏驗證，內表面於廠內完成電解拋光，材質涵蓋不鏽鋼與鋁合金，並可依需求提供各項檢測報告。
真空脫氣腔
電池芯脫氣、樹脂與材料脫氣用的不鏽鋼真空脫氣腔，內表面經電解拋光並配置法蘭接管，通過氦氣測漏驗證，內部幾何可完全排液，換產品時便於清潔整理，並可依批次決定容積。
熱真空與太空環境模擬腔體
熱真空與太空環境模擬腔體製造，採不鏽鋼容器並可依需求搭配熱罩、饋通與儀器接管，以氦質譜測漏驗證整體的真空完整性，容器本體與各項接管均可一併製造與加工。
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