半導體與真空製造

熱真空與太空環境模擬腔體

打造可承載熱罩、饋通與儀器的真空容器 — 腔體必須在極冷與極熱下都能正常工作。

熱真空腔體是在真空腔體上再疊加一個問題:它必須在內表面反覆往復於低溫與高溫之間時維持真空,而這正是會找出所有錯誤材料選擇的工況。

熱真空有什麼不同

熱循環會讓所有東西移動。常溫下氣密的接合,可能在法蘭降溫、螺栓與法蘭以不同速率收縮時張開。剛性固定的熱罩會把支撐座拉裂。設計必須容許位移同時維持真空邊界完整,通常要靠波紋管、開槽安裝座與滑動支撐,而不是剛性結構。

熱真空下的材料

容器使用 316L,因為它在低溫下仍保有可用的韌性 — 沃斯田鐵系不鏽鋼不會出現肥粒鐵系鋼材那種延性到脆性的轉變。熱罩則在導熱性比強度重要時使用鋁合金。內部扣件需要特別留意,因為真空下沒有氧化層可在螺紋上重新生成,咬死問題嚴重得多。

接管與饋通

熱真空腔體的貫穿件遠多於製程腔:熱罩與測試件用的熱電偶與儀錶饋通、加熱器用的電力饋通,以及測試目的本身所需的儀器光學接管。每一個都是漏徑,因此接管數量同時驅動製造成本與測漏時間。

驗證

容器在安裝熱罩前先於常溫做氦氣測漏,組裝完成後再測一次。安裝前測漏通過、安裝後卻失效的腔體,通常是新增了接管或接合處被擾動,而不是容器本身有問題。

太空環境模擬的特別之處

太空環境模擬額外要求腔體必須大到測試件看不到腔壁 — 熱罩要包圍測試件而不接觸它,這同時決定了容器直徑與內部支撐結構。這個幾何通常就是太空環境模擬腔體屬於單件訂製、而非標準產品的原因。

廠內自製能力

常見問題

什麼是熱真空腔體?

一種內含熱罩的真空腔體,熱罩通常以液態氮或低溫制冷機冷卻,有時也能加熱,讓測試件在真空下於溫度極值之間循環。用於在半接近太空的條件下測試太空載具零組件、儀器與材料。

熱真空容器為什麼用 316L?

沃斯田鐵系不鏽鋼在低溫下仍保有韌性,不會出現肥粒鐵系那種延性到脆性的轉變。對可能接觸液態氮溫度的容器來說,這就是決定性的性質。

什麼是太空環境模擬腔體?

一種經尺寸與配置設計的熱真空腔體,讓測試件被熱罩包圍而不接觸,藉以模擬太空的輻射環境。這種「包圍但不接觸」的要求決定了容器幾何,也讓多數太空環境模擬腔體都是單件訂製。

熱真空腔體需要多少饋通?

通常遠多於製程腔:熱罩與測試件上的熱電偶、加熱器電力,以及量測儀器的光學接管。每個貫穿件都是獨立的漏徑,因此接管清單通常在初期就定案,測漏也依此規劃。

熱罩也是你們製造嗎?

我們製造真空容器與其接管,並可提供內部支撐結構。熱罩與其冷卻迴路通常由客戶指定,因為熱設計與測試需求綁在一起。

相關能力

不鏽鋼真空零組件電解拋光服務
不鏽鋼與鋁合金真空腔體的廠內電解拋光服務,可有效降低放氣以符合超高真空需求,拋光與鈍化都不外包,單一供應商與單一交期,每個出廠腔體都附上完整的檢測報告。
氦氣測漏與漏率檢測服務
真空腔體、銲接件與饋通的氦氣測漏服務,能找出極微小的漏點並逐腔出具檢測報告,內容完整載明檢測方法、檢出限與各測試點的實測漏率,並可供客戶稽核與驗收使用。
真空硬焊服務
不鏽鋼與鋁合金組件的真空硬焊服務,接合處完全免用助銲劑也無氧化物殘留,不需後清洗,更不會留下助銲劑夾雜在運轉中持續放氣,並以氦質譜測漏驗證接合的氣密性。
真空爐與真空熱處理
真空熱處理、真空硬焊與真空腔體烘烤除氣的廠內服務,可處理不鏽鋼與鋁合金真空零組件,並以貼在工件本身的熱電偶記錄實際的升溫與降溫曲線,而不是爐內的氣氛。
半導體真空腔體
半導體製程設備專用的真空腔體製造,涵蓋電漿蝕刻、化學氣相沉積與濺鍍等設備的製程腔與傳片腔,採不鏽鋼與鋁合金材料製作,並逐腔出具完整的測漏與尺寸檢測報告。
CF (ConFlat) 法蘭加工
超高真空等級的 CF 法蘭與刀口法蘭精密加工,以無氧銅墊圈搭配刀口密封,法蘭本體與腔體上的接管在同一次裝夾中一併成形,並可提供多種標準尺寸與客製幾何的訂製服務。
KF、ISO-K 與 ISO-F 真空法蘭加工
真空法蘭的精密加工與製造整合服務,涵蓋KF/ISO系列的不鏽鋼及鋁合金法蘭,密封面與法蘭孔徑皆在同一次裝夾中精密成形加工,並可依需求提供多種客製化的尺寸與規格。
真空觀視窗加工
廠內加工的真空觀視窗法蘭,提供 CF 與標準法蘭本體並搭配相互配合的玻璃座,玻璃座與法蘭孔徑在同一次裝夾中完成加工,確保同心度與平面度,並可避免運轉時發生洩漏。
真空饋通法蘭加工
真空饋通法蘭本體的加工服務,並可涵蓋電力、熱電偶、儀錶與多針腳等各式配置,法蘭本體與陶瓷座在同一次裝夾中確保同心,密封完成之後再以氦質譜測漏整組驗證氣密性。
UHV 真空腔體與零組件
超高真空腔體與零組件的製造服務,採不鏽鋼製作並經內表面電解拋光與烘烤除氣處理,可搭配 CF 法蘭、觀視窗、饋通與波紋管等全金屬密封件,所有接合處也都能承受烘烤。
客製真空腔體製造
客製真空腔體製造,可照圖施工或依性能規格設計,材質涵蓋不鏽鋼與鋁合金,並可製作大型銲接件,逐腔附上氦氣測漏紀錄與三次元量測的尺寸報告,並提供完整材質證明。
真空腔體製造與銲接
真空腔體製造與銲接服務,採全滲透潔淨氬銲,銲道無微孔缺陷,並經氦氣測漏驗證,內表面於廠內完成電解拋光,材質涵蓋不鏽鋼與鋁合金,並可依需求提供各項檢測報告。
真空脫氣腔
電池芯脫氣、樹脂與材料脫氣用的不鏽鋼真空脫氣腔,內表面經電解拋光並配置法蘭接管,通過氦氣測漏驗證,內部幾何可完全排液,換產品時便於清潔整理,並可依批次決定容積。

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