熱真空腔體是在真空腔體上再疊加一個問題:它必須在內表面反覆往復於低溫與高溫之間時維持真空,而這正是會找出所有錯誤材料選擇的工況。
熱真空有什麼不同
熱循環會讓所有東西移動。常溫下氣密的接合,可能在法蘭降溫、螺栓與法蘭以不同速率收縮時張開。剛性固定的熱罩會把支撐座拉裂。設計必須容許位移同時維持真空邊界完整,通常要靠波紋管、開槽安裝座與滑動支撐,而不是剛性結構。
熱真空下的材料
容器使用 316L,因為它在低溫下仍保有可用的韌性 — 沃斯田鐵系不鏽鋼不會出現肥粒鐵系鋼材那種延性到脆性的轉變。熱罩則在導熱性比強度重要時使用鋁合金。內部扣件需要特別留意,因為真空下沒有氧化層可在螺紋上重新生成,咬死問題嚴重得多。
接管與饋通
熱真空腔體的貫穿件遠多於製程腔:熱罩與測試件用的熱電偶與儀錶饋通、加熱器用的電力饋通,以及測試目的本身所需的儀器光學接管。每一個都是漏徑,因此接管數量同時驅動製造成本與測漏時間。
驗證
容器在安裝熱罩前先於常溫做氦氣測漏,組裝完成後再測一次。安裝前測漏通過、安裝後卻失效的腔體,通常是新增了接管或接合處被擾動,而不是容器本身有問題。
太空環境模擬的特別之處
太空環境模擬額外要求腔體必須大到測試件看不到腔壁 — 熱罩要包圍測試件而不接觸它,這同時決定了容器直徑與內部支撐結構。這個幾何通常就是太空環境模擬腔體屬於單件訂製、而非標準產品的原因。
廠內自製能力
- 304 / 316L stainless steel and 6061 / 5083 aluminium fabrication
- Clean-environment TIG welding with full penetration and no micro-porosity
- Helium mass-spectrometer leak testing to 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s
- In-house electropolishing and passivation — not subcontracted
- Chamber bake-out to 150–400 °C for UHV outgassing control
- Precision-machined ISO-KF, ISO-K and CF (ConFlat) flanges
- Zeiss CMM verification to ±0.02 mm across large work envelopes
- 12 m gantry CNC machining — 12 m × 4 m × 2 m envelope
- SEMI-referenced documentation and inspection protocols
常見問題
什麼是熱真空腔體?
一種內含熱罩的真空腔體,熱罩通常以液態氮或低溫制冷機冷卻,有時也能加熱,讓測試件在真空下於溫度極值之間循環。用於在半接近太空的條件下測試太空載具零組件、儀器與材料。
熱真空容器為什麼用 316L?
沃斯田鐵系不鏽鋼在低溫下仍保有韌性,不會出現肥粒鐵系那種延性到脆性的轉變。對可能接觸液態氮溫度的容器來說,這就是決定性的性質。
什麼是太空環境模擬腔體?
一種經尺寸與配置設計的熱真空腔體,讓測試件被熱罩包圍而不接觸,藉以模擬太空的輻射環境。這種「包圍但不接觸」的要求決定了容器幾何,也讓多數太空環境模擬腔體都是單件訂製。
熱真空腔體需要多少饋通?
通常遠多於製程腔:熱罩與測試件上的熱電偶、加熱器電力,以及量測儀器的光學接管。每個貫穿件都是獨立的漏徑,因此接管清單通常在初期就定案,測漏也依此規劃。
熱罩也是你們製造嗎?
我們製造真空容器與其接管,並可提供內部支撐結構。熱罩與其冷卻迴路通常由客戶指定,因為熱設計與測試需求綁在一起。
相關能力
需要依規格訂製嗎?
把圖面或規格書寄給我們,我們會回覆 DDP 價格、交期與檢驗計畫。