脫氣腔必須在被產品蒸發物充滿的同時維持真空。這使得密封件相容性與可清潔性成為設計主軸，而不是極限壓力。
脫氣腔必須承受什麼
腔體每個循環都接觸製程蒸氣與冷凝液，不只是空氣。溶劑、電解液或樹脂蒸氣會侵蝕彈性體，積在角落的冷凝液則成為汙染源。因此密封材質必須依製程化學性質選用，內部幾何必須能排液而不是積液。
為什麼用 316L 而不是 304
316L 比 304 更能抵抗氯化物與更廣泛的製程化學品，且碳含量較低，銲道熱影響區較不易敏化。對電池電解液作業而言，微量水氣與電解液結合的情況下，這個差異值得那筆材料成本。
我們採用的結構
316L 筒身搭配全滲透氬銲（TIG）銲道，內表面電解拋光以同時降低吸附與微粒滯留，泵浦與錶頭接管採 ISO-KF 或 ISO-K 法蘭，可拆式上蓋密封則是依製程蒸氣、而非僅依真空選用。
一個代表性專案
我們為一項電池芯脫氣製程製造了十二座客製 316L 脫氣腔，以氦氣測漏驗證高真空性能，內表面電解拋光，並配備精密 ISO-KF 法蘭。腔體設計成內部容積能完全排空，換產品時不必拆解筒身即可清潔。
尺寸
腔體容積由批次決定，而不是由泵浦決定：腔體必須大到抽氣過程釋出的蒸氣不會在產品上重新凝結。批次量大時，腔體會做成水平圓筒搭配全長上蓋，而不是直立式槽體，裝料時就不必把產品越過槽緣抬進去。
廠內自製能力
- 304 / 316L stainless steel and 6061 / 5083 aluminium fabrication
- Clean-environment TIG welding with full penetration and no micro-porosity
- Helium mass-spectrometer leak testing to 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s
- In-house electropolishing and passivation — not subcontracted
- Chamber bake-out to 150–400 °C for UHV outgassing control
- Precision-machined ISO-KF, ISO-K and CF (ConFlat) flanges
- Zeiss CMM verification to ±0.02 mm across large work envelopes
- 12 m gantry CNC machining — 12 m × 4 m × 2 m envelope
- SEMI-referenced documentation and inspection protocols
常見問題
真空脫氣腔的用途是什麼？
在減壓下移除液體或固體中溶解或夾帶的氣體 — 電池電解液與電池芯在封裝前、鑄造樹脂在固化前，以及氣泡會成為失效點的灌封膠。
脫氣腔為什麼要用 316L？
因為腔體除了真空還要面對製程化學品。316L 比 304 更能耐受氯化物與更多種溶劑，且碳含量較低，可減少銲道熱影響區的敏化。
腔體是怎麼密封的？
以可拆式上蓋密封，依製程蒸氣而非僅依真空選用，泵浦與錶頭接管則採 ISO-KF 或 ISO-K 法蘭。密封材質是最常選錯的部分，因為在空氣中沒問題的橡膠，碰到溶劑蒸氣可能嚴重膨潤。
腔體可以在換產品之間清潔嗎？
可以，而且設計時就該考慮。我們把內部幾何做成能完全排液、避免冷凝液積聚的死角，換產品時不需要拆解筒身。
脫氣腔有其他尺寸嗎？
有。容積由批次決定。小型直立腔用於實驗室與試量產，批次大到不便把產品越過槽緣抬進去時，則採用全長上蓋的水平圓筒。
相關能力
需要依規格訂製嗎？
把圖面或規格書寄給我們，我們會回覆 DDP 價格、交期與檢驗計畫。