Eine Durchführung versagt anders als ein Blindflansch: Sie muss Vakuum halten und gleichzeitig einen Leiter durch dieselbe Wand führen. Damit werden die Keramik-Metall-Verbindung und der Flanschsitz zu einem einzigen Leckpfad, der als eine Baugruppe geprüft werden muss und nicht als zwei Einzelteile.
Was eine Durchführung gleichzeitig leisten muss
Sie muss Leistung, Signal oder Bewegung durch eine Vakuumgrenze übertragen, ohne zu lecken, ohne über das Systembudget hinaus auszugasen und ohne elektrischen oder thermischen Kurzschluss zur Kammer. Diese Anforderungen stehen im Konflikt: Die Keramik, die die elektrische Isolation liefert, ist spröde und hat einen anderen Ausdehnungskoeffizienten als der Flansch. Die Verbindung muss daher so ausgelegt sein, dass die Keramik auf Druck und nicht auf Zug beansprucht wird.
Übliche Ausführungen
Leistungsdurchführungen für Heizungen und Elektroden; Thermoelement- und Messdurchführungen für Temperatur- und Druckmessung in der Kammer; Multipin-Steckverbinder für Signalbündel; sowie koaxiale und geschirmte Ausführungen, wo HF- oder niedrigpegelige Signale es erfordern. Bewegungsdurchführungen – rotatorisch und linear – sind eine eigene Familie und werden üblicherweise als komplette Baugruppen gekauft und nicht aus einem Flanschgehäuse aufgebaut.
Was wir bearbeiten und was wir prüfen
Wir bearbeiten Flanschgehäuse, Keramiksitz und Leiterbohrung in einer Aufspannung, damit die Baugruppe konzentrisch ist, und prüfen die fertige Durchführung als Baugruppe mit dem Helium-Massenspektrometer auf Dichtheit. Flansch und Keramik getrennt zu prüfen und auf eine dichte Kombination zu vertrauen, ist der klassische Weg, auf dem eine Durchführung die Wareneingangsprüfung besteht und an der Kammer versagt.
Auswahl der Flanschgröße
Der Flansch muss groß genug sein, um die Anzahl der Leiter und den Keramikdurchmesser aufzunehmen – nicht nur die Leiter. Mehr Pins in einen Flansch zu packen, als die Keramik tragen kann, ist die übliche Ursache für eine Durchführung, die an der Dichtung leckt und nicht am Pin.
Was wir im eigenen Haus beherrschen
- 304 / 316L stainless steel and 6061 / 5083 aluminium fabrication
- Clean-environment TIG welding with full penetration and no micro-porosity
- Helium mass-spectrometer leak testing to 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s
- In-house electropolishing and passivation — not subcontracted
- Chamber bake-out to 150–400 °C for UHV outgassing control
- Precision-machined ISO-KF, ISO-K and CF (ConFlat) flanges
- Zeiss CMM verification to ±0.02 mm across large work envelopes
- 12 m gantry CNC machining — 12 m × 4 m × 2 m envelope
- SEMI-referenced documentation and inspection protocols
Häufig gestellte Fragen
Was ist eine Vakuum-Durchführung?
Eine Vakuum-Durchführung ist ein gedichtetes Bauteil, das einen Leiter, ein Thermoelement, eine Glasfaser oder eine mechanische Bewegung durch die Wand einer Vakuumkammer führt, ohne das Vakuum zu unterbrechen.
Was ist die häufigste Ausfallursache?
Leckage an der Keramik-Metall-Dichtung, meist verursacht durch eine Auslegung, die die Keramik auf Zug beansprucht, oder durch eine Bearbeitung des Dichtungssitzes außerhalb der Konzentrizität zur Flanschbohrung. Die Prüfung der fertigen Baugruppe mit dem Helium-Massenspektrometer erkennt das, bevor sie an die Kammer kommt.
Sollte ich eine CF- oder eine KF-Durchführung wählen?
CF, wenn die Durchführung ausgeheizt wird oder die Kammer UHV erreichen muss, weil die Dichtung metallisch ist. KF ist für den HV-Betrieb und bei häufigem Wechsel der Durchführung akzeptabel, doch der O-Ring begrenzt die Ausheiztemperatur.
Können Sie einen Sonderflansch für eine Durchführung bearbeiten?
Ja. Wir bearbeiten Flanschgehäuse nach Standard-CF- und -KF-Maßen und nach Kundenzeichnung, einschließlich abweichender Leiterzahlen und Bohrbilder.
Liefern Sie auch die Keramik und die Pins?
Wir bearbeiten das Flanschgehäuse und die Dichtmerkmale und bauen und prüfen die komplette Baugruppe nach Kundenspezifikation. Ob die Keramikbaugruppe zugekauft oder vom Kunden vorgegeben wird, hängt von der Ausführung ab.
Verwandte Fertigungskompetenzen
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