Halbleiter- und Vakuumfertigung

Thermische Vakuum- & Weltraumsimulationskammern

Vakuumbehälter, ausgelegt für Temperaturschilde, Durchführungen und Messtechnik – Kammern, die kalt und heiß funktionieren müssen.

Eine thermische Vakuumkammer ist eine Vakuumkammer mit einem zweiten Problem obendrauf: Sie muss Vakuum halten, während ihre inneren Oberflächen zwischen kryogenen und erhöhten Temperaturen wechseln – die Bedingung, die jede falsche Werkstoffwahl aufdeckt.

Was thermisches Vakuum anders macht

Thermische Wechsel bewegen alles. Eine Verbindung, die bei Raumtemperatur dichtet, kann sich öffnen, wenn ein Flansch abkühlt und die Schraube sich anders ausdehnt als der Flansch. Ein starr montierter Schild reißt seine Halterungen. Die Konstruktion muss Bewegung zulassen und die Vakuumgrenze intakt halten – das bedeutet meist Faltenbälge, Langlöcher und Gleitlagerungen statt einer steifen Struktur.

Werkstoffe im thermischen Vakuum

Für den Behälter wird 316L verwendet, weil es bei tiefen Temperaturen eine brauchbare Zähigkeit behält – die austenitischen Sorten zeigen den Übergang von duktil zu spröde nicht, den ferritische Stähle aufweisen. Aluminium wird für Schilde eingesetzt, wenn Wärmeleitfähigkeit wichtiger ist als Festigkeit. Innenliegende Verbindungselemente verdienen Aufmerksamkeit, weil Fressen im Vakuum deutlich schlimmer ist, wo sich auf dem Gewinde kein Oxid neu bildet.

Stutzen und Durchführungen

Eine thermische Vakuumkammer trägt weit mehr Durchdringungen als eine Prozesskammer: Thermoelement- und Messdurchführungen für Schild und Prüfling, Leistungsdurchführungen für Heizungen und optische Stutzen für die Instrumente, um die es bei der Prüfung überhaupt geht. Jede ist ein Leckpfad, sodass die Anzahl der Stutzen sowohl die Fertigungskosten als auch die Lecktestzeit bestimmt.

Verifikation

Der Behälter wird bei Umgebungstemperatur heliumleckgeprüft, bevor der Schild montiert wird, und die montierte Kammer wird danach erneut geprüft. Eine Kammer, die vor der Montage dicht ist und danach nicht mehr, hat meist einen nachträglich ergänzten Stutzen oder eine gestörte Fügestelle – nicht der Behälter selbst ist die Ursache.

Speziell Weltraumsimulation

Die Weltraumsimulation ergänzt die Anforderung, dass die Kammer groß genug ist, damit der Prüfling die Wände nicht sieht – der Schild muss den Prüfling umgeben, ohne ihn zu berühren, was sowohl den Behälterdurchmesser als auch die innere Tragestruktur festlegt. Diese Geometrie ist meist der Grund, warum eine Weltraumsimulationskammer ein Einzelstück ist und kein Standardprodukt.

Was wir im eigenen Haus beherrschen

Häufig gestellte Fragen

Was ist eine thermische Vakuumkammer?

Eine Vakuumkammer mit innenliegendem Schild, der gekühlt werden kann – üblicherweise mit flüssigem Stickstoff oder einem Kryokühler – und teilweise beheizt wird, sodass ein Prüfling im Vakuum zwischen Temperaturextremen zyklisiert werden kann. Sie dient der Prüfung von Raumfahrtkomponenten, Instrumenten und Werkstoffen unter weltraumähnlichen Bedingungen.

Warum wird 316L für thermische Vakuumbehälter verwendet?

Austenitische Edelstähle behalten ihre Zähigkeit bei tiefen Temperaturen und zeigen nicht den Übergang von duktil zu spröde, den ferritische Sorten aufweisen. Für einen Behälter, der Temperaturen von flüssigem Stickstoff sehen kann, ist das die entscheidende Eigenschaft.

Was ist eine Weltraumsimulationskammer?

Eine thermische Vakuumkammer, die so dimensioniert und ausgestattet ist, dass der Prüfling von einem Schild umgeben ist, ohne ihn zu berühren, und damit die Strahlungsumgebung des Weltraums annähert. Die Anforderung, ohne Kontakt zu umschließen, bestimmt die Behältergeometrie und macht die meisten Weltraumsimulationskammern zu Einzelanfertigungen.

Wie viele Durchführungen benötigt eine thermische Vakuumkammer?

Typischerweise deutlich mehr als eine Prozesskammer: Thermoelemente an Schild und Prüfling, Leistung für Heizungen und optische Stutzen für die Messinstrumente. Jede Durchdringung ist ein eigener Leckpfad, deshalb wird der Stutzenplan meist früh festgelegt und der Lecktest darauf abgestimmt.

Bauen Sie auch den Schild oder nur den Behälter?

Wir fertigen den Vakuumbehälter und seine Stutzen und können die innere Tragestruktur liefern. Der Schild und sein Kühlkreis werden üblicherweise vom Kunden spezifiziert, weil die thermische Auslegung an die Prüfanforderung gebunden ist.

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