Eine Sonderkammer ist ein Kompromiss zwischen dem, was der Prozess braucht, was der Werkstoff beim Schweißen mitmacht und was sich anschließend tatsächlich zerspanen lässt. Je früher diese drei Punkte zusammengeführt werden, desto günstiger wird die Kammer – deshalb sind wir lieber in der Zeichnungsphase dabei als erst beim Angebot.
Wie ein Sonderkammerprojekt abläuft
Wir starten entweder mit einer Kundenzeichnung oder mit einer Leistungsspezifikation. Handelt es sich um eine Spezifikation, steht zuerst die Abstimmung von Werkstoff, Dichtungsfamilie und Oberflächenbehandlung an, denn diese drei Entscheidungen bestimmen das erreichbare Vakuum und die Kosten weit stärker als die Wandstärke. Danach lautet die Reihenfolge: schweißen, spannungsarmglühen, zerspanen, elektropolieren, Lecktest, ausheizen, prüfen.
Warum die Reihenfolge mehr zählt als jeder Einzelschritt
Schweißen verzieht, also müssen die Dichtflächen nach dem Schweißen bearbeitet werden. Zerspanen hinterlässt Kühlmittel und Späne, also muss die Oberfläche danach gereinigt und poliert werden. Mechanisches Polieren hinterlässt eine verschmierte Schicht, also folgt das Elektropolieren. Elektropolieren hinterlässt Wasserstoff und Wasser auf der Oberfläche, also folgt ein Ausheizen. Jeder Schritt existiert wegen des vorherigen – und wer einen überspringt, verschiebt das Problem, statt es zu lösen.
Bauteilgröße und Handhabung
Unser Portal-Bearbeitungsraum misst 12 m × 4 m × 2 m, sodass eine große Kammer in einer einzigen Aufspannung bearbeitet werden kann. Das ist wichtig, weil bei zwei Aufspannungen die Bezugskante in der Mitte wechselt und die Flanschpositionen beiderseits dieses Bezugs nicht mehr übereinstimmen.
Was Sie mit der Kammer erhalten
Ein Maßprotokoll aus der KMG-Prüfung, ein Helium-Lecktest-Protokoll mit angegebenem Verfahren und angegebener Nachweisgrenze, Messungen der Oberflächenrauheit, Materialzeugnisse nach EN 10204 sowie die Schweißanweisungsdokumentation. Für Halbleiter- und Forschungskunden ist dieses Paket Teil der Lieferung und keine optionale Zugabe.
Wann eine Sonderkammer die falsche Antwort ist
Wenn eine Standardkammer in kleiner Baugröße für Routine-Hochvakuumarbeit gefordert ist, sind Standardprodukte günstiger und schneller. Eine Sonderfertigung rechnet sich, wenn Geometrie, Größe oder Vakuumniveau außerhalb dessen liegen, was Standardprodukte abdecken – praktisch also bei großen Kammern, ungewöhnlichen Stutzenanordnungen oder UHV- und ausheizbarer Bauweise.
Was wir im eigenen Haus beherrschen
- 304 / 316L stainless steel and 6061 / 5083 aluminium fabrication
- Clean-environment TIG welding with full penetration and no micro-porosity
- Helium mass-spectrometer leak testing to 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s
- In-house electropolishing and passivation — not subcontracted
- Chamber bake-out to 150–400 °C for UHV outgassing control
- Precision-machined ISO-KF, ISO-K and CF (ConFlat) flanges
- Zeiss CMM verification to ±0.02 mm across large work envelopes
- 12 m gantry CNC machining — 12 m × 4 m × 2 m envelope
- SEMI-referenced documentation and inspection protocols
Häufig gestellte Fragen
Was kostet eine Sondervakuumkammer?
Das hängt fast ausschließlich von Vakuumniveau, Größe und Werkstoff ab und kaum von der Form. Eine UHV-Kammer mit Elektropolieren, Metalldichtungen und vollem Prüfpaket kostet ein Mehrfaches einer Hochvakuumkammer gleichen Volumens in Elastomerdichtung. Wir kalkulieren gegen eine definierte Spezifikation und nicht gegen ein Volumen.
Was ist die größte Vakuumkammer, die Sie fertigen können?
Unser Portal-Bearbeitungsraum misst 12 m × 4 m × 2 m und setzt damit die praktische Grenze für eine einteilige Kammer. Größere Behälter lassen sich in Segmenten bauen, doch dann werden die Fügestellen Teil der Vakuumauslegung.
Wie lange dauert eine Sondervakuumkammer?
Eine kleine bis mittlere Kammer dauert normalerweise Wochen und nicht Monate. Große UHV-Schweißkonstruktionen brauchen länger, weil die Abfolge – Schweißen, Spannungsarmglühen, Zerspanen, Polieren, Lecktest und Ausheizen – nicht verdichtet werden kann, ohne das Ergebnis zu verlieren.
Können Sie nach einer Leistungsspezifikation statt nach Zeichnung arbeiten?
Ja. Wenn Sie Vakuumniveau, Innenvolumen, Stutzenanforderungen und Einsatztemperatur vorgeben, schlagen wir Werkstoff, Dichtungsfamilie und Oberflächenbehandlung vor und kalkulieren darauf. Diese drei früh abzustimmen hält die Kosten planbar.
Fertigen Sie auch Einzelstücke?
Ja. Wir bauen sowohl einzelne Sonderkammern als auch Serien im Rahmen langfristiger Lieferverträge. Ein repräsentatives Beispiel ist ein japanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, für den wir heute mehr als 50 Kammern pro Jahr liefern.
Verwandte Fertigungskompetenzen
Benötigen Sie dieses Bauteil nach Spezifikation?
Senden Sie uns die Zeichnung oder die Spezifikation – Sie erhalten ein DDP-Angebot, eine Lieferzeit und einen Prüfplan.