馈通的失效方式与盲板法兰不同：它要在同一面壁上既保持真空、又让导体穿过去。于是陶瓷—金属封接与法兰座构成同一条漏路，必须作为一个整体组件来检测，而不能拆成两个零件分别判。
馈通要同时满足的条件
它要在真空边界上传输功率、信号或运动，既不泄漏，放气量也不超出系统预算，又不能对腔体发生电学或热学短路。这些要求彼此冲突：提供电绝缘的陶瓷既脆，膨胀系数又与法兰不同，所以接头设计必须让陶瓷处于压应力而不是拉应力状态。
常见配置
加热器和电极用的功率馈通；测量腔内温度和压力的热电偶与仪表馈通；信号束用的多针连接器；以及射频或微弱信号需要的同轴与屏蔽型。运动馈通——旋转和直线——是另一个系列，通常按完整组件采购，而不是用法兰体自行搭建。
我们加工什么、检测什么
法兰体、陶瓷座和导体孔在一次装夹中加工，保证组件同轴，然后对成品馈通以整体组件形式做氦质谱检漏。把法兰和陶瓷分开检测、再假定组合起来是紧的，正是馈通入库合格、上腔体却漏的原因。
法兰规格怎么选
法兰要大到能容纳导体数量和陶瓷直径，而不只是导体本身。把比陶瓷所能承载的更多插针塞进一只法兰，是馈通在封接处而不是在插针处漏的常见原因。
自有可控工序
- 304 / 316L stainless steel and 6061 / 5083 aluminium fabrication
- Clean-environment TIG welding with full penetration and no micro-porosity
- Helium mass-spectrometer leak testing to 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s
- In-house electropolishing and passivation — not subcontracted
- Chamber bake-out to 150–400 °C for UHV outgassing control
- Precision-machined ISO-KF, ISO-K and CF (ConFlat) flanges
- Zeiss CMM verification to ±0.02 mm across large work envelopes
- 12 m gantry CNC machining — 12 m × 4 m × 2 m envelope
- SEMI-referenced documentation and inspection protocols
常见问题
什么是真空馈通？
真空馈通是一种密封组件，让导体、热电偶、光纤或机械运动穿过真空腔体的壁，而不破坏真空。
最常见的失效模式是什么？
陶瓷—金属封接处泄漏，通常源于设计让陶瓷承受拉应力，或者封接座与法兰内孔加工不同心。对成品组件做氦质谱检漏，可以在它装到腔体之前就发现问题。
馈通该选 CF 还是 KF？
需要烘烤或腔体要进超高真空，选 CF，因为它是金属密封。高真空工况、并且馈通需要频繁更换的场合，KF 可以接受，但 O 型圈限制了烘烤温度。
非标馈通法兰能做吗？
可以。我们按标准 CF 和 KF 尺寸以及客户图纸加工法兰体，包括非标导体数量和孔位布置。
陶瓷件和插针也由你们提供吗？
我们加工法兰体和密封特征，并按客户规格组装、检测完整组件。陶瓷分组件是外购还是由客户指定，取决于具体配置。
相关能力
需要按规格定制吗？
把图纸或技术规格发给我们，我们会回复 DDP 报价、交期和检验方案。