除气腔在保持真空的同时，腔内还充满从产品里蒸发出来的东西。因此决定设计的是密封件相容性和可清洗性，而不是极限压力。
除气腔要承受什么
每个循环腔体都要接触工艺蒸气和冷凝液，而不只是空气。溶剂、电解液或树脂蒸气会侵蚀弹性体，积在死角的冷凝液会成为污染源。所以密封材料必须按工艺化学性质选，内部几何必须能排净而不是积液。
为什么用 316L 而不是 304
316L 比 304 更耐氯离子，能适应的工艺介质范围也更宽；碳含量更低，焊缝热影响区不易敏化。做电池电解液相关的活儿，微量水分和电解液叠加作用时，这点差别值得多花的材料费。
我们采用的结构
316L 筒体配全焊透 TIG 焊缝，内表面电解抛光以降低吸附和颗粒滞留，抽气与规管接口采用 ISO-KF 或 ISO-K 法兰，可拆卸盖板密封件按工艺蒸气选型，而不是只按真空选型。
一个代表性项目
我们为一道电池电芯除气工艺制造了 12 台定制 316L 除气腔，高真空性能经氦检漏验证，内表面电解抛光，配精密 ISO-KF 法兰。腔体设计成内容积可以完全排净，并且换产品时不必拆开筒体即可清洗。
规格确定
腔体容积由批次决定，而不是由泵决定：腔体要足够大，使抽气过程中释放的蒸气不会在产品上重新冷凝。批量较大时，腔体做成卧式圆筒配全长盖板，而不是立式罐体，这样装料不需要把产品从罐口翻过去。
自有可控工序
- 304 / 316L stainless steel and 6061 / 5083 aluminium fabrication
- Clean-environment TIG welding with full penetration and no micro-porosity
- Helium mass-spectrometer leak testing to 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s
- In-house electropolishing and passivation — not subcontracted
- Chamber bake-out to 150–400 °C for UHV outgassing control
- Precision-machined ISO-KF, ISO-K and CF (ConFlat) flanges
- Zeiss CMM verification to ±0.02 mm across large work envelopes
- 12 m gantry CNC machining — 12 m × 4 m × 2 m envelope
- SEMI-referenced documentation and inspection protocols
常见问题
真空除气腔用来做什么？
在减压条件下脱除液体或固体中溶解或夹带的气体——电池电解液和电芯在封口前除气、浇注树脂在固化前脱泡，以及气泡会成为失效点的灌封胶。
除气腔为什么用 316L？
因为腔体既要接触工艺介质，又要保持真空。316L 比 304 更耐氯离子、适应的溶剂范围更宽，碳含量更低也减少了焊缝热影响区的敏化。
腔体怎么密封？
用可拆卸盖板密封件，按工艺蒸气选型而不是只按真空选型；抽气和规管接口用 ISO-KF 或 ISO-K 法兰。密封材料是最常被选错的一环，因为在空气里没问题的胶料，泡在溶剂蒸气里可能膨胀得很厉害。
换产品时腔体可以清洗吗？
可以，而且设计时就该考虑。我们把内部几何做成能完全排净、避免积液死角，换产品时不必拆开筒体。
其他规格的除气腔你们做吗？
做。容积由批次决定。小型立式腔体用于实验室和中试，批量大到产品无法从罐口搬运时，用带全长盖板的卧式圆筒。
相关能力
需要按规格定制吗？
把图纸或技术规格发给我们，我们会回复 DDP 报价、交期和检验方案。