진공 뷰포트 가공

뷰포트는 완성된 챔버에서 누설이 가장 쉽게 발생하는 접합부입니다. 유리 대 금속 씰이 가공된 안착면 위에 놓이는데, 이 면은 평탄하고 플랜지와 동심이어야 하며 누설 경로가 되는 공구 자국이 없어야 하기 때문입니다.

두 가지 제작 방식

접착형 뷰포트는 에폭시나 유리 대 금속 씰을 사용하며 구조가 단순하지만 온도에 제약이 있습니다. 나이프 에지 뷰포트는 연마된 유리 면에 무산소동 개스킷을 사용하는 방식으로 콘플랫 접합과 같은 원리이며 UHV 수준의 온도까지 베이킹할 수 있습니다. 어느 쪽이 맞는지는 뷰포트가 베이킹을 견뎌야 하는지에 따라 결정됩니다.

정확하게 가공해야 하는 부분

유리 안착면의 평탄도, 플랜지 내경과의 동심도, 안착면의 표면 거칠기, 플랜지 볼트 배열입니다. 평탄하지만 동심이 아닌 안착면은 조임 과정에서 유리의 한쪽에 하중을 집중시켜 유리를 깨뜨립니다. 원주 방향 공구 자국이 있는 안착면은 씰 랜드를 가로지르는 기체 경로를 제공합니다.

광학 등급 유리

표준 뷰포트는 가시광을 투과하고 열 사이클을 견디는 붕규산 유리를 사용합니다. UV 투과가 중요한 곳에는 용융 실리카를, 내마모성이 필요하거나 적외선을 투과해야 하는 창에는 사파이어를 지정합니다. 각각 열팽창 계수가 다르므로 안착면 형상은 유리 종류에 맞춰야 하며 일률적으로 표준화해서는 안 됩니다.

사이즈와 배치

뷰포트 크기는 플랜지 크기가 아니라 필요한 시야를 기준으로 선정하는 것이 일반적이며, 대형 챔버에서는 셸 용접 전에 위치를 확정해야 합니다. 포트는 나중에 추가하려면 챔버 전체를 재가공해야 하기 때문입니다. 당사가 뷰포트 바디를 외부 구매가 아니라 직접 가공하는 이유 중 하나입니다.

자주 묻는 질문