진공로 및 진공 열처리

대기 중 열처리는 방금 전해연마로 공들여 만든 표면을 산화시킵니다. 같은 공정을 진공에서 수행하면 표면이 밝게 유지되고 이후 세정할 것이 남지 않습니다. 그래서 진공 열처리가 진공 부품의 표준 공정입니다.

진공 열처리라고 불리는 세 가지 다른 작업

첫째는 산화와 탈탄을 피하기 위해 진공에서 수행하는 통상적인 금속 열처리, 즉 어닐링, 응력 제거, 경화입니다. 둘째는 로 자체가 접합 도구가 되는 진공 브레이징입니다. 셋째는 베이킹으로, 조립된 챔버를 진공에서 150–400 °C로 가열해 흡착된 수증기와 수소를 밀봉 전에 배출시키는 공정입니다. 각 경우의 온도와 분위기 요구 조건이 다르므로 사이클을 혼동해서는 안 됩니다.

베이킹: UHV를 가능하게 하는 단계

전해연마 후 챔버에 남는 주된 잔류 기체는 수분입니다. 수분은 상온에서는 천천히 탈착되지만 150 °C 이상에서는 빠르게 탈착되고, 수소는 대략 250 °C 이상에서 스테인리스 모재로부터 빠져나오기 시작합니다. 연속 배기 상태에서 250–400 °C로 제어 베이킹하면 대부분 제거됩니다. 기밀만 확보되고 베이킹하지 않은 챔버는 영원히 고진공에 머무릅니다.

당사가 운영하는 공정

스테인리스 구조물의 어닐링과 응력 제거, 진공 브레이징 사이클, UHV 용도의 챔버 베이킹을 수행합니다. 열전대는 로 내부에만 두는 것이 아니라 피가공물에 직접 부착하므로, 기록되는 온도 프로파일이 로의 분위기가 아니라 부품의 실제 온도를 반영합니다.

전체 공정 체인에 미치는 영향

베이킹은 전해연마 후, 최종 밀봉 전에 들어갑니다. 연마된 표면을 가열하는 것은 마감에 해롭지 않지만, 오염된 표면을 가열하면 오염이 구워져 고정되기 때문입니다. 응력 제거가 필요한 경우에는 최종 가공 전에 실시하여 마지막 절삭 후 부품이 변형되지 않도록 합니다.

자주 묻는 질문