진공 피드스루 플랜지 가공

피드스루는 블랭크 플랜지와 다른 방식으로 실패합니다. 같은 벽에서 진공을 유지하면서 도체를 통과시켜야 하기 때문입니다. 따라서 세라믹 대 금속 접합과 플랜지 안착면이 하나의 누설 경로를 이루며, 두 부품이 아니라 하나의 조립체로 검사해야 합니다.

피드스루가 동시에 만족해야 하는 조건

진공 경계를 가로질러 전력, 신호 또는 운동을 누설 없이 전달해야 하고, 시스템 예산을 넘는 아웃개싱이 없어야 하며, 챔버에 전기적·열적으로 단락되지 않아야 합니다. 이 요구사항들은 서로 상충합니다. 전기적 절연을 제공하는 세라믹은 취성이 있고 플랜지와 열팽창 계수가 다르므로, 세라믹이 인장이 아니라 압축 상태에 놓이도록 접합부를 설계해야 합니다.

일반적인 구성

히터와 전극용 전원 피드스루, 챔버 내부의 온도·압력 측정용 열전대 및 계측 피드스루, 신호 번들용 멀티핀 커넥터, RF나 저레벨 신호가 필요한 경우의 동축 및 차폐형이 있습니다. 운동 피드스루(회전형·직선형)는 별도 계열이며, 일반적으로 플랜지 바디를 조립하는 대신 완성 조립체로 구매합니다.

당사가 가공하고 검사하는 범위

플랜지 바디, 세라믹 안착면, 도체 보어를 한 번의 세팅으로 가공하여 조립체가 동심을 이루도록 한 뒤, 완성된 피드스루를 조립체 상태로 헬륨 질량분석기 누설 검사합니다. 플랜지와 세라믹을 따로 검사하고 조합도 기밀이겠거니 가정하는 방식은, 입고 검사는 통과하고 챔버에서 실패하는 피드스루를 만듭니다.

플랜지 사이즈 선정

플랜지는 도체 수만이 아니라 세라믹 직경까지 함께 감당할 만큼 커야 합니다. 세라믹이 감당할 수 있는 것보다 많은 핀을 한 플랜지에 몰아넣는 것이, 핀이 아니라 씰에서 누설되는 피드스루의 흔한 원인입니다.

자주 묻는 질문