진공 탈기 챔버

탈기 챔버는 제품에서 증발하는 물질로 채워지는 동안에도 진공을 유지해야 합니다. 따라서 설계의 기준은 도달 진공도가 아니라 씰 재료의 적합성과 세정 용이성입니다.

탈기 챔버가 견뎌야 하는 조건

챔버는 매 사이클마다 공기만이 아니라 공정 증기와 응축물에 노출됩니다. 용제, 전해액, 수지 증기는 엘라스토머를 침식하고, 구석에 고인 응축물은 오염원이 됩니다. 따라서 씰 재료는 공정 화학에 맞춰 선정해야 하고, 내부 형상은 액이 고이지 않고 배출되도록 설계해야 합니다.

304가 아니라 316L을 쓰는 이유

316L은 304보다 염화물과 더 넓은 범위의 공정 화학에 견디며, 탄소 함량이 낮아 용접 열영향부의 예민화 가능성도 줄어듭니다. 미량의 수분과 전해액이 결합하는 배터리 전해액 공정에서는 그 차이가 재료비를 정당화합니다.

당사가 적용하는 구조

완전 용입 TIG 용접한 316L 셸, 흡착과 파티클 잔류를 모두 줄이기 위해 전해연마한 내부 표면, 펌프 및 게이지 연결용 ISO-KF 또는 ISO-K 플랜지 포트, 그리고 진공만이 아니라 공정 증기에 맞춰 선정한 분리형 리드 씰로 구성합니다.

대표 프로젝트

배터리 셀 탈기 공정용 316L 맞춤 탈기 챔버 12기를 제작했으며, 헬륨 누설 검사로 고진공 성능을 검증하고 내부 표면을 전해연마했으며 ISO-KF 플랜지를 정밀 가공했습니다. 내부 용적이 완전히 배출되도록 설계하여, 셸을 분해하지 않고도 제품 교체 시 세정이 가능합니다.

사이즈

챔버 용적은 펌프가 아니라 배치(batch) 기준으로 결정합니다. 배기 중 방출된 증기가 제품 위에 재응축되지 않을 만큼 충분히 커야 하기 때문입니다. 배치가 큰 경우에는 수직형 용기(pot)가 아니라 전체 길이 덮개를 갖춘 수평 원통형으로 제작하여, 제품을 테두리 위로 들어 올리지 않고 적재할 수 있게 합니다.

자주 묻는 질문