맞춤형 챔버는 공정이 요구하는 것, 용접 시 재료가 보이는 거동, 그리고 이후 실제로 가공 가능한 범위 사이의 절충입니다. 이 세 가지를 얼마나 일찍 조정하느냐가 챔버 가격을 좌우하므로, 당사는 견적 단계보다 도면 단계에서 참여하는 것을 선호합니다.
맞춤형 챔버 프로젝트 진행 방식
고객 도면 또는 성능 사양 중 하나에서 시작합니다. 사양인 경우 첫 단계는 재료, 씰 계열, 표면 처리의 합의입니다. 이 세 가지 결정이 벽 두께보다 훨씬 크게 도달 가능한 진공도와 비용을 좌우하기 때문입니다. 합의가 끝나면 용접 → 응력 제거 → 가공 → 전해연마 → 누설 검사 → 베이킹 → 검사 순서로 진행합니다.
개별 공정보다 순서가 더 중요한 이유
용접은 변형을 만들므로 씰 면은 용접 후에 가공해야 합니다. 가공은 냉각수와 칩을 남기므로 표면은 가공 후에 세정하고 연마해야 합니다. 기계 연마는 눌린 층을 남기므로 전해연마가 뒤따릅니다. 전해연마는 표면에 수소와 수분을 남기므로 베이킹이 뒤따릅니다. 각 단계는 앞 단계 때문에 존재하며, 하나를 건너뛰면 문제는 해결되는 것이 아니라 옮겨질 뿐입니다.
사이즈와 핸들링
당사 갠트리 가공 영역은 12 m × 4 m × 2 m이므로 대형 챔버도 한 번의 세팅으로 가공할 수 있습니다. 두 번의 세팅으로 가공한 챔버는 중간에 기준면이 바뀌어, 그 기준면을 사이에 둔 양쪽 플랜지 위치가 서로 맞지 않기 때문입니다.
챔버와 함께 제공되는 것
3차원 측정기 (CMM) 검사 기반 치수 성적서, 방법과 검출 한도를 명시한 헬륨 누설 검사 성적서, 표면 거칠기 측정값, 재료 증명서, 용접 절차 문서입니다. 반도체 및 연구 고객에게 이 패키지는 선택 사항이 아니라 납품물의 일부입니다.
맞춤형 챔버가 답이 아닌 경우
일상적인 고진공 작업을 위한 표준 소형 챔버가 필요하다면 표준 제품이 더 저렴하고 빠릅니다. 맞춤 제작은 형상, 크기 또는 진공 수준이 표준 제품의 범위를 벗어날 때 비용을 정당화합니다. 실무적으로는 대형 챔버, 특수한 포트 배치, 또는 UHV·베이킹 구조가 이에 해당합니다.
당사가 직접 수행하는 공정
- 304 / 316L stainless steel and 6061 / 5083 aluminium fabrication
- Clean-environment TIG welding with full penetration and no micro-porosity
- Helium mass-spectrometer leak testing to 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s
- In-house electropolishing and passivation — not subcontracted
- Chamber bake-out to 150–400 °C for UHV outgassing control
- Precision-machined ISO-KF, ISO-K and CF (ConFlat) flanges
- Zeiss CMM verification to ±0.02 mm across large work envelopes
- 12 m gantry CNC machining — 12 m × 4 m × 2 m envelope
- SEMI-referenced documentation and inspection protocols
자주 묻는 질문
맞춤형 진공 챔버 가격은 얼마인가요?
형상보다는 진공 수준, 크기, 재료에 거의 전적으로 좌우됩니다. 전해연마, 전금속 씰, 전체 검사 패키지를 갖춘 UHV 챔버는 같은 용적의 엘라스토머 씰 고진공 챔버보다 몇 배의 비용이 듭니다. 당사는 용적이 아니라 확정된 사양을 기준으로 견적을 제시합니다.
제작 가능한 가장 큰 진공 챔버는 어느 정도인가요?
당사 갠트리 가공 영역은 12 m × 4 m × 2 m이며, 이것이 일체형 챔버의 실질적인 한계입니다. 더 큰 용기는 분할 제작할 수 있지만, 그때는 접합부가 진공 설계의 일부가 됩니다.
맞춤형 챔버 제작에는 얼마나 걸리나요?
중소형 챔버는 보통 몇 달이 아니라 몇 주입니다. 대형 UHV 용접 구조물은 순서 때문에 더 오래 걸립니다. 용접, 응력 제거, 가공, 연마, 누설 검사, 베이킹은 결과를 잃지 않고는 압축할 수 없습니다.
도면 없이 성능 사양만으로도 작업할 수 있나요?
가능합니다. 필요한 진공 수준, 내부 용적, 포트 요구사항, 사용 온도를 알려주시면 재료, 씰 계열, 표면 처리를 제안하고 그에 따라 견적을 제시합니다. 이 세 가지를 초기에 합의하는 것이 비용을 예측 가능하게 유지하는 방법입니다.
1점 제작 챔버도 공급하나요?
네. 1점 맞춤 챔버와 장기 공급 계약에 따른 반복 양산을 모두 수행합니다. 대표적인 예로 일본의 반도체 장비 제조사에 현재 연 50대 이상의 챔버를 공급하고 있습니다.
관련 역량
규격대로 제작이 필요하신가요?
도면 또는 사양서를 보내주시면 DDP 가격, 납기, 검사 계획을 회신해 드립니다.